Компьютерное моделирование начальных стадий роста карбида кремния на кремнии из монометилсилана

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Физика твердого тела : сборник материалов XIX Российской студенческой конференции, посвященной 85-летию кафедры физики твердого тела физического факультета ТГУ (13-17 мая 2024 г.) С. 85-86
Главный автор: Петраков, Владислав Александрович
Формат: Статья в сборнике
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145064

Похожие документы