Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа
Цель настоящей работы - выявление особенностей и закономер-ностей формирования химического строения полимер-подобного покрытия, осаж-даемого при плазмохимической активации гексаметилдисилоксана в катодных слоях и плазме положительного столба тлеющего разряда. Тлеющий разряд под-держивался в пот...
| Published in: | Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 106-119 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145263 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 05618nab a2200397 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001145263 | ||
| 005 | 20250325132405.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241008|2024 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/24135542/34/9 |2 doi | |
| 035 | |a koha001145263 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа |c Д. А. Зуза, В. О. Нехорошев, А. В. Батраков, И. А. Курзина |
| 246 | 1 | 1 | |a Chemical constitution of coatings deposited under hexamethyldisiloxane activation in a glow discharge in a gas flow |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 21 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Цель настоящей работы - выявление особенностей и закономер-ностей формирования химического строения полимер-подобного покрытия, осаж-даемого при плазмохимической активации гексаметилдисилоксана в катодных слоях и плазме положительного столба тлеющего разряда. Тлеющий разряд под-держивался в потоке смеси аргон / гексаметилдисилоксан. Расход аргона составлял 230 мг/мин. Покрытия осаждались в шести различных режимах работы плазмо-химической системы. Режимы работы определялись скоростью расхода гексаме-тилдисилоксана, которая составляла от 1 до 10 мг/мин, и средним током разряда, устанавливаемым в диапазоне от 5 до 50 мА. Химическое строение полученных покрытий было идентифицировано с использованием рентгеновской фотоэлек-тронной спектроскопии и инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье. Показано, что при варьировании тока разряда и расхода гексаметилдиси-локсана в изучаемой системе образуется широкий спектр различных по химическому строению покрытий. Было идентифицировано четыре различных вида по-лученных покрытий: полиметилсилоксан-подобная структура, сшитая алифати-ческими углеводородными звеньями с высоким (C/Si = 9,4) и низким (C/Si = 2,9) содержанием углеводородных звеньев, полиэдральные олигомерные силсескви-оксаны, сшитые карбосилановыми, силоксановыми и алифатическими звеньями с высоким (C/Si = 5,1) и низким (C/Si = 1,5) содержанием углеводородных зве-ньев. Было обнаружено значительное влияние расхода гексаметилдисилоксана на химическую структуру. Наиболее интересной особенностью некоторых получен-ных кремнийорганических покрытий является высокое относительное содержа-ние углерода. Установлено, что количество углеводородных звеньев в покрытии повышается с током разряда. Выдвинуто предположение об образовании углеводородных пленкообразующих частиц в катодных слоях разряда вследствие ион-индуцированных процессов. | |
| 653 | |a плазменная полимеризация | ||
| 653 | |a кремнийорганические покрытия | ||
| 653 | |a плазмохимическое осаждение из газовой фазы | ||
| 653 | |a рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия | ||
| 653 | |a инфракрасная спектроскопия | ||
| 653 | |a тлеющий разряд | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 973072 | |
| 700 | 1 | |a Зуза, Даниил Александрович |9 104515 | |
| 700 | 1 | |a Нехорошев, Виталий Олегович |9 561973 | |
| 700 | 1 | |a Батраков, Александр Владимирович |9 188102 | |
| 700 | 1 | |a Курзина, Ирина Александровна |9 66528 | |
| 773 | 0 | |t Вестник Томского государственного университета. Химия |d 2024 |g № 34. С. 106-119 |x 2413-5542 |w to000518048 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145263 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1145263 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 56 | ||
| 999 | |c 1145263 |d 1145263 | ||