Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа
Цель настоящей работы – выявление особенностей и закономер-ностей формирования химического строения полимер-подобного покрытия, осаж-даемого при плазмохимической активации гексаметилдисилоксана в катодных слоях и плазме положительного столба тлеющего разряда. Тлеющий разряд под-держивался в потоке с...
| Published in: | Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 106-119 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145263 |