Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа

Цель настоящей работы – выявление особенностей и закономер-ностей формирования химического строения полимер-подобного покрытия, осаж-даемого при плазмохимической активации гексаметилдисилоксана в катодных слоях и плазме положительного столба тлеющего разряда. Тлеющий разряд под-держивался в потоке с...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Вестник Томского государственного университета. Химия № 34. С. 106-119
Другие авторы: Зуза, Даниил Александрович, Нехорошев, Виталий Олегович, Батраков, Александр Владимирович, Курзина, Ирина Александровна
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001145263

Похожие документы