Анализ длины димерного ряда при гетероэпитаксиальном росте Ge/Si(100) методом дифракции быстрых отраженных электронов
В работе представлено исследование длины димерных рядов сверхструктуры 2xN в зависимости от температуры в диапазоне 200-550 °С. Обнаружено изменение длины димерного ряда при росте Ge на Si(100) от температуры роста. Увеличение длины димерного ряда говорит о росте упругих напряжений в системе, а зна...
| Published in: | Двадцатая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 2-5 мая 2023 г. С. 68-69 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146084 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02358naa a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001146084 | ||
| 005 | 20241212180512.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241021s2023 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | |a koha001146084 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кукенов, Олжас Игоревич |9 564215 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Анализ длины димерного ряда при гетероэпитаксиальном росте Ge/Si(100) методом дифракции быстрых отраженных электронов |c О. И. Кукенов, А. С. Соколов |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 5 назв. | ||
| 520 | 3 | |a В работе представлено исследование длины димерных рядов сверхструктуры 2xN в зависимости от температуры в диапазоне 200-550 °С. Обнаружено изменение длины димерного ряда при росте Ge на Si(100) от температуры роста. Увеличение длины димерного ряда говорит о росте упругих напряжений в системе, а значит, может влиять на критическую толщину слоя Ge на Si(100) | |
| 653 | |a молекулярно-лучевая эпитаксия | ||
| 653 | |a дифракция быстрых отраженных электронов, метод | ||
| 653 | |a сверхструктуры | ||
| 653 | |a экспериментальные исследования | ||
| 655 | 4 | |a статьи в сборниках |9 974488 | |
| 700 | 1 | |a Соколов, Арсений Сергеевич |9 799893 | |
| 773 | 0 | |t Двадцатая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 2-5 мая 2023 г. |d Томск, 2023 |g С. 68-69 |z 9785936296987 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146084 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1146084 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1146084 |d 1146084 | ||
| 039 | |b 100 | ||