Анализ длины димерного ряда при гетероэпитаксиальном росте Ge/Si(100) методом дифракции быстрых отраженных электронов

В работе представлено исследование длины димерных рядов сверхструктуры 2xN в зависимости от температуры в диапазоне 200–550 °С. Обнаружено изменение длины димерного ряда при росте Ge на Si(100) от температуры роста. Увеличение длины димерного ряда говорит о росте упругих напряжений в системе, а знач...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Двадцатая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 2–5 мая 2023 г. С. 68-69
Main Author: Кукенов, Олжас Игоревич
Other Authors: Соколов, Арсений Сергеевич
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146084
LEADER 02173naa a2200301 c 4500
001 koha001146084
005 20241212180512.0
007 cr |
008 241021s2023 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001146084 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич 
245 1 0 |a Анализ длины димерного ряда при гетероэпитаксиальном росте Ge/Si(100) методом дифракции быстрых отраженных электронов  |c О. И. Кукенов, А. С. Соколов 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 5 назв. 
520 3 |a В работе представлено исследование длины димерных рядов сверхструктуры 2xN в зависимости от температуры в диапазоне 200–550 °С. Обнаружено изменение длины димерного ряда при росте Ge на Si(100) от температуры роста. Увеличение длины димерного ряда говорит о росте упругих напряжений в системе, а значит, может влиять на критическую толщину слоя Ge на Si(100) 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a дифракция быстрых отраженных электронов, метод 
653 |a сверхструктуры 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Соколов, Арсений Сергеевич 
773 0 |t Двадцатая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 2–5 мая 2023 г.  |d Томск, 2023  |g С. 68-69  |z 9785936296987 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146084 
908 |a статья 
999 |c 1146084  |d 1146084