Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц - Турсунханова, Рыскуль Болаткызы; Сергеев, Виктор Петрович 1949-; Калашников, Марк Петрович; Сергеев, Олег Викторович; Воронов, Андрей Викторович; Христенко, Юрий Федорович; Жалнин, Евгений Викторович (Известия высших учебных заведений. Физика)
Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I – на основе Ta/AlSiN и II – на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет среднее значение, близкое 59 и 24% соответственно. Оба слоя AlSiN в покрытии I и верхний слой TaN в покрытии II формируются в наноструктурном состоянии, нижний слой AlSiN в покрытии II разделяется на два: прилежащий к подложке – аморфный, располагающийся выше него – в аморфно-кристаллическом состоянии. Покрытие II имеет более высокую адгезию к кварцевой подложке по сравнению с покрытием I. Установлено, что покрытие I на основе Ta/AlSiN имеет более высокие на 15–20% механические свойства, такие как микротвердость и коэффициент упругого восстановления, что придает стеклу более высокий защитный эффект от локальных микроповреждений поверхности (кратеров) при ударах высокоскоростных микрочастиц железного порошка.