Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, тве...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 8. С. 21-25 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146871 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, твердость и адгезию полученных пленок. Показано, что удельное сопротивление a-C-пленок, наносимых распылением графитовой мишени при подаче высоковольтного напряжения смещения на подложку, может быть снижено за счет увеличения доли графитизированного углерода. Добавление Ni в такие пленки позволяет дополнительно снизить их удельное сопротивление. С увеличением содержания Ni происходит снижение твердости и адгезии a-C:Ni-пленок. Полученные значения удельного электрического сопротивления и адгезии a-C:Ni-пленок к термоэлектрическим материалам позволяют использовать их в качестве барьерных антидиффузионных покрытий термоэлектрических модулей. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 21 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |