|
|
|
|
| LEADER |
03805nab a2200433 c 4500 |
| 001 |
koha001146871 |
| 005 |
20241104202932.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
241029|2017 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001146871
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
|c А. С. Гренадёров, К. В. Оскомов, А. А. Соловьёв [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 21 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, твердость и адгезию полученных пленок. Показано, что удельное сопротивление a-C-пленок, наносимых распылением графитовой мишени при подаче высоковольтного напряжения смещения на подложку, может быть снижено за счет увеличения доли графитизированного углерода. Добавление Ni в такие пленки позволяет дополнительно снизить их удельное сопротивление. С увеличением содержания Ni происходит снижение твердости и адгезии a-C:Ni-пленок. Полученные значения удельного электрического сопротивления и адгезии a-C:Ni-пленок к термоэлектрическим материалам позволяют использовать их в качестве барьерных антидиффузионных покрытий термоэлектрических модулей.
|
| 653 |
|
|
|a нанокомпозиционные материалы
|
| 653 |
|
|
|a аморфные углеродные пленки
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a термоэлектрические преобразователи
|
| 653 |
|
|
|a антидиффузионные слои
|
| 653 |
|
|
|a проводимость
|
| 653 |
|
|
|a твердость
|
| 653 |
|
|
|a адгезия
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Гренадеров, Александр Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскомов, Константин Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьев, Андрей Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Работкин, Сергей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Захаров, Александр Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Семенов, Вячеслав Аркадьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскирко, Владимир Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Елгин, Юрий Игоревич
|
| 700 |
1 |
|
|a Корнева, Ольга Сергеевна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2017
|g Т. 60, № 8. С. 21-25
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146871
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1146871
|d 1146871
|
