Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления
Методом магнетронного распыления получены a-C- и a-C:Ni-пленки на подложках из монокристаллического кремния и термоэлектрического материала n-типа ((Bi₂Te₃)₀.₉₄(Bi₂Se₃)₀.₀₆) и p-типа ((Bi₂Te₃)₀.₂₀(Sb₂Te₃)₀.₈₀) проводимости. Изучено влияние концентрации Ni на удельное электрическое сопротивление, тве...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 8. С. 21-25 |
|---|---|
| Other Authors: | Гренадеров, Александр Сергеевич, Оскомов, Константин Владимирович, Соловьев, Андрей Александрович, Работкин, Сергей Викторович, Захаров, Александр Николаевич, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович, Елгин, Юрий Игоревич, Корнева, Ольга Сергеевна |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001146871 |
Similar Items
- Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
- Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
- Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления
- Синтез и исследование нанокомпозитных покрытий с нанокристаллическими частицами карбида титана в аморфной углеродной матрице
- Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
