Газовая чувствительность гексагонального оксида галлия

The structural and gas-sensitive properties of ε(κ)-Ga2O3 films obtained by halide vapor phase epitaxy (HVPE) under the exposure to CO, H2 and NH3 were studied. The temperature and concentration dependences of the response and their analysis were presented. A gas sensitivity mechanism was proposed....

Full description

Bibliographic Details
Published in:Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 1 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физика. С. 30-32
Main Author: Алмаев, Дмитрий Александрович
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147010
LEADER 01740naa a2200289 c 4500
001 koha001147010
005 20241105170141.0
007 cr |
008 241031s2023 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001147010 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
100 1 |a Алмаев, Дмитрий Александрович 
245 1 0 |a Газовая чувствительность гексагонального оксида галлия  |c Д. А. Алмаев 
246 1 1 |a Gas sensitivity of hexagonal gallium oxide 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 5 назв. 
520 3 |a The structural and gas-sensitive properties of ε(κ)-Ga2O3 films obtained by halide vapor phase epitaxy (HVPE) under the exposure to CO, H2 and NH3 were studied. The temperature and concentration dependences of the response and their analysis were presented. A gas sensitivity mechanism was proposed. 
653 |a оксид галлия гексагональный 
653 |a газовая чувствительность 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в сборниках 
773 0 |t Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 1 : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-28 апреля 2023 г.  |d Томск, 2023  |g Т. 1 : Физика. С. 30-32  |z 9785438711377  |z 9785438711360 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147010 
908 |a статья 
999 |c 1147010  |d 1147010