Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона
Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбу...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 5. С. 21-29 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147752 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03594nab a2200409 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001147752 | ||
| 005 | 20241126120030.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 241115|2017 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001147752 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона |c К. Е. Евдокимов, М. Е. Конищев, В. Ф. Пичугин [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 23 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. | |
| 653 | |a плазма | ||
| 653 | |a магнетронное напыление | ||
| 653 | |a диагностика плазмы | ||
| 653 | |a аргон | ||
| 653 | |a оптическая спектроскопия | ||
| 653 | |a столкновительно-излучательные модели | ||
| 653 | |a спектроскопия плазмы | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 977615 | |
| 700 | 1 | |a Евдокимов, Кирилл Евгеньевич |9 530080 | |
| 700 | 1 | |a Конищев, Максим Евгеньевич |9 500345 | |
| 700 | 1 | |a Пичугин, Владимир Федорович |9 363880 | |
| 700 | 1 | |a Пустовалова, Алла Александровна |9 475956 | |
| 700 | 1 | |a Иванова, Нина Михайловна |9 496144 | |
| 700 | 1 | |a Сунь, Чжилей |9 977620 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2017 |g Т. 60, № 5. С. 21-29 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147752 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1147752 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1147752 |d 1147752 | ||