|
|
|
|
| LEADER |
03345nab a2200385 c 4500 |
| 001 |
koha001147752 |
| 005 |
20241126120030.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
241115|2017 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001147752
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона
|c К. Е. Евдокимов, М. Е. Конищев, В. Ф. Пичугин [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 23 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы.
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное напыление
|
| 653 |
|
|
|a диагностика плазмы
|
| 653 |
|
|
|a аргон
|
| 653 |
|
|
|a оптическая спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a столкновительно-излучательные модели
|
| 653 |
|
|
|a спектроскопия плазмы
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Конищев, Максим Евгеньевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Пичугин, Владимир Федорович
|
| 700 |
1 |
|
|a Пустовалова, Алла Александровна
|
| 700 |
1 |
|
|a Иванова, Нина Михайловна
|
| 700 |
1 |
|
|a Сунь, Чжилей
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2017
|g Т. 60, № 5. С. 21-29
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147752
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1147752
|d 1147752
|
