Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужден...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 5. С. 21-29
Другие авторы:	Евдокимов, Кирилл Евгеньевич, Конищев, Максим Евгеньевич, Пичугин, Владимир Федорович, Пустовалова, Алла Александровна, Иванова, Нина Михайловна, Сунь, Чжилей
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	плазма магнетронное напыление диагностика плазмы аргон оптическая спектроскопия столкновительно-излучательные модели спектроскопия плазмы статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001147752

Похожие документы

Параметры уширения линий поглощения молекулы воды давлением аргона, полученные с помощью различных моделей формы контура

Физические основы наклонного напыления фосфатов кальция из плазмы ВЧ-магнетронного разряда

Закономерности динамического эффекта Штарка для атома аргона в циркулярно поляризованном электрическом поле
по: Корюкина, Елена Владимировна

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
по: Князева, Анна Георгиевна

Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
по: Сайфуллин, Эльмир Равильевич

Исследование многослойных наноструктурных покрытий на основе системы Ni-Al, сформированных методом магнетронного напыления

Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления

Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления
по: Бардова, Александра Евгеньевна

Формирование тонкопленочных твердооксидных электролитов методом магнетронного напыления
по: Соловьев, Андрей Александрович

Системы in situ диагностики взаимодействия плазмы с поверхностью на токамаке МИФИСТ-1

Спектроскопия переохлажденной плазмы и плазменные лазеры Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05
по: Янчарина, Александра Макаровна
Публикация: (1995)

Спектральная диагностика плазмы. Лабораторный практикум учебно-методическое пособие : [для бакалавров и магистрантов, обучающихся по направлениям подготовки 03.03.02 Физика. 03.04.02 Физика. Фундаментальная и прикладная физика]
Публикация: (2018)

Biocompatibility assessment of coatings obtained in argon and nitrogen atmospheres for TiNi materials

Спектроскопия. Методы и применения Труды VI Сибирского совещания по спектроскопии
Публикация: (1973)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Оценка напряжений в растущем покрытии в условиях магнетронного напыления

Structural, electrical and gas-sensitive properties of Cr2O3 thin films

Импульсные СО2-лазеры Сборник статей
Публикация: (1996)

Terahertz spectroscopy of diabetic and non-diabetic human blood plasma pellets

Stark broadening of hydrogen and hydrogenlike spectral lines in plasmas the physical insight
по: Oks, Eugene
Публикация: (2006)

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
по: Струнин, Владимир Иванович

Reaction synthesis of gradient coatings by annealing of three-layer Ti–Ni–Ti nanolaminate magnetron sputtered on the TiNi substrate

Surface modification of poly(l-lactide) and polycaprolactone bioresorbable polymers using RF plasma discharge with sputter deposition of a hydroxyapatite target

Методы и оборудование для формирования гибридных биологически совместимых покрытий на имплантатах для хирургии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.11.17; 05.17.11/
по: Шестериков, Е. В. Евгений Викторович
Публикация: (2012)

Установка для нанесения кальцийфосфатных покрытий в плазме ВЧ-магнетронного разряда на медицинские имплантаты

Спектроскопическая пространственно-временная диагностика импульсно-периодического лазера на парах стронция
по: Горбунова, Тамара Михайловна

Спектроскопия переохлажденной плазмы и плазменные лазеры диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05
по: Янчарина, Александра Макаровна
Публикация: (1995)

Биоактивные ВЧ-магнетронные покрытия на поверхности керамики

Modification of PCL scaffolds by reactive magnetron sputtering: a possibility for modulating macrophage responses

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства

Известия высших учебных заведений. Физика ежемесячный научный журнал
Публикация: (1958)

Техника оптической спектроскопии [Учебное пособие для физических специальностей вузов]
по: Лебедева, Вера Владимировна
Публикация: (1986)

Теория нерезонансной излучательной неустойчивости Пирса Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-матетматических наук. 01.04.08.
по: Клочков, Дмитрий Николаевич
Публикация: (2000)

Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках

Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте
по: Асиновский, Эрик Иванович
Публикация: (2008)

Влияние процентного содержания аргона в смеси газов Ar–N2 на относительное количество частиц Ar+, N2+, N и N+ в плазме несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом

Oxygen sensors based on gallium oxide thin films with addition of chromium