| Summary: | Методом вторично-ионной масс-спектрометрии с использованием установки PHI 6300 исследована диффузия ионов алюминия в циркониевой керамике, полученной из плазмохимических порошков состава 97ZrO₂–3Y₂O₃ (мол. %). Предварительно тонкая пленка алюминия, нанесенная на поверхность керамики, подвергалась промежуточному отжигу при температуре 873 К до полного ее окисления. Диффузионные отжиги проводились в диапазоне температур 1520–1820 °С. Установлено, что типичный экспериментальный профиль глубинного распределения примеси содержит два характерных линейных участка с разными углами наклона, которые свидетельствуют о том, что диффузионный перенос ионов алюминия идет одновременно по объему зерен и по межзеренным границам. Объемные коэффициенты диффузии определены путем аппроксимации диффузионных профилей решением уравнения Фика для диффузии из тонкопленочного источника в полубесконечный кристалл. Определенные значения коэффициентов диффузии удовлетворительно совпали с литературными данными.
|
|---|
