Картины дифракции структур 1x2 и 2x1 при эпитаксии Si на Si(100)

В работе представлено исследование особенностей характера осцилляций интенсивности картин дифракции быстрых отраженных электронов в направлении [110] при эпитаксиальном росте Si на Si(100), а также интенсивности рефлексов от сверхструктур 1х2 и 2х1 в направлении [100] при разных температурах синтеза...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Двадцать первая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 13−17 мая 2024 г. : сборник трудов С. 64-65
Other Authors: Ворсин, Олег Игоревич, Дюков, Илья Юрьевич, Гнеушев, Анатолий Владимирович, Кукенов, Олжас Игоревич
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149161
LEADER 02158naa a2200325 c 4500
001 koha001149161
005 20241212180515.0
007 cr |
008 241210s2024 ru fs 100 0 rus d
035 |a koha001149161 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Картины дифракции структур 1x2 и 2x1 при эпитаксии Si на Si(100)  |c О. И. Ворсин, И. Ю. Дюков, А. В. Гнеушев, О. И. Кукенов 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 5 назв. 
520 3 |a В работе представлено исследование особенностей характера осцилляций интенсивности картин дифракции быстрых отраженных электронов в направлении [110] при эпитаксиальном росте Si на Si(100), а также интенсивности рефлексов от сверхструктур 1х2 и 2х1 в направлении [100] при разных температурах синтеза (200–800 °С). 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a сверхструктуры 
653 |a дифракция быстрых электронов 
653 |a эпитаксиальные слои кремния 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Ворсин, Олег Игоревич 
700 1 |a Дюков, Илья Юрьевич 
700 1 |a Гнеушев, Анатолий Владимирович 
700 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич 
773 0 |t Двадцать первая Всероссийская конференция студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 13−17 мая 2024 г. : сборник трудов  |d Томск, 2024  |g С. 64-65  |z 9785936297168  |w koha001147414 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001149161 
908 |a статья 
999 |c 1149161  |d 1149161