Использование СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин из карбида кремния - Дьяченко, Александр Дмитриевич; Левашкин, Андрей Геньевич; Башкиров, Александр Иванович; Гузов, Даниил Андреевич (Инноватика-2024 : сборник материалов XX Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 25-27 апреля 2024 г., г. Томск, Россия)