Исследование механических параметров чувствительного элемента резонансно-частотного датчика давления
Рассматривается чувствительный элемент резонансно-частотного датчика давления, его характеристики и сравнение с другими видами датчиков давления. В результате анализа выявлено, что основным недостатком данного типа устройств являются низкие значения чувствительности. Для решения данной проблемы п...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 2. С. 91-100 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001151167 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Итог: | Рассматривается чувствительный элемент резонансно-частотного датчика давления, его характеристики и сравнение с другими видами датчиков давления. В результате анализа выявлено, что основным недостатком данного типа устройств являются низкие значения чувствительности. Для решения данной проблемы предлагается заменить монокристаллическую кремниевую мембрану на композитную с последующим изменением геометрии резонаторов. Для подтверждения действенности данного метода представлено моделирование мембраны из кремния и композитных материалов, отображающее изменение частоты собственных колебаний и внутренних напряжений. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: 21 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Доступ: | Ограниченный доступ |