Исследование механических параметров чувствительного элемента резонансно-частотного датчика давления
Рассматривается чувствительный элемент резонансно-частотного датчика давления, его характеристики и сравнение с другими видами датчиков давления. В результате анализа выявлено, что основным недостатком данного типа устройств являются низкие значения чувствительности. Для решения данной проблемы п...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 2. С. 91-100 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001151167 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03150nab a2200397 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001151167 | ||
| 005 | 20250206120701.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 250203|2024 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/67/2/10 |2 doi | |
| 035 | |a koha001151167 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Исследование механических параметров чувствительного элемента резонансно-частотного датчика давления |c А. А. Таловская, Д. М. Моховиков, Е. С. Барбин [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Study of mechanical parameters of the sensitive element of the resonant-frequency pressure sensor |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 21 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Рассматривается чувствительный элемент резонансно-частотного датчика давления, его характеристики и сравнение с другими видами датчиков давления. В результате анализа выявлено, что основным недостатком данного типа устройств являются низкие значения чувствительности. Для решения данной проблемы предлагается заменить монокристаллическую кремниевую мембрану на композитную с последующим изменением геометрии резонаторов. Для подтверждения действенности данного метода представлено моделирование мембраны из кремния и композитных материалов, отображающее изменение частоты собственных колебаний и внутренних напряжений. | |
| 653 | |a датчики давления | ||
| 653 | |a резонансная частота | ||
| 653 | |a экспериментальные исследования | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах | |
| 700 | 1 | |a Таловская, Алена Алексеевна |9 984854 | |
| 700 | 1 | |a Моховиков, Денис Максимович |9 984855 | |
| 700 | 1 | |a Барбин, Евгений Сергеевич |9 984856 | |
| 700 | 1 | |a Кулинич, Иван Владимирович |9 761750 | |
| 700 | 1 | |a Гуляева, Ангелина Алексеевна |9 984857 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2024 |g Т. 67, № 2. С. 91-100 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001151167 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1151167 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 942 | |2 udc | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1151167 |d 1151167 | ||