Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности - Заворотний, Анатолий Анатольевич; Ершов, Александр Анатольевич; Филиппов, Владимир Владимирович физик; Лузянин, Сергей Евгеньевич (Известия высших учебных заведений. Физика)
Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов формулы для разности потенциалов между измерительными зондами. Показано, что в большинстве практически используемых случаев предлагаемые асимптотические формулы можно использовать без увеличения измерительной погрешности в случаях контроля однородности распределения электрофизических параметров исследуемых образцов.