Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок
На базе вакуумно-напылительной установки Аспира-200 определены оптимальные параметры ионной очистки для обработки поверхности полупроводниковых материалов на примере монокристалла Ge. Определены характерные размеры кратеров пробоев на полупроводниковой поверхности при недостаточной (0.8-1.8 мкм)...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 1. С. 90-99 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153863 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03481nab a2200457 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001153863 | ||
| 005 | 20250320154038.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 250318|2025 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/68/1/10 |2 doi | |
| 035 | |a koha001153863 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок |c В. С. Кузнецов, М. М. Зиновьев, Н. Н. Юдин [и др.] |
| 246 | 1 | 1 | |a Ionic cleaning of Ge substrate surfaces before ion beam spoiling of thin films |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 7 назв. | ||
| 520 | 3 | |a На базе вакуумно-напылительной установки Аспира-200 определены оптимальные параметры ионной очистки для обработки поверхности полупроводниковых материалов на примере монокристалла Ge. Определены характерные размеры кратеров пробоев на полупроводниковой поверхности при недостаточной (0.8-1.8 мкм) и избыточной (12-25 мкм) компенсации заряда от источника ионной очистки. Из вольт-амперных характеристик найден коэффициент компенсации, при котором не наблюдается пробоев на поверхности монокристалла Ge. Установлено, что при оптимальных параметрах нагрев подложки не влияет на результат ионной очистки. | |
| 653 | |a ионная очистка | ||
| 653 | |a полупроводниковые материалы | ||
| 653 | |a системы вакуумного осаждения | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах | |
| 700 | 1 | |a Кузнецов, Владимир Сергеевич |9 95144 | |
| 700 | 1 | |a Зиновьев, Михаил Михайлович |9 99804 | |
| 700 | 1 | |a Юдин, Николай Николаевич |9 350581 | |
| 700 | 1 | |a Подзывалов, Сергей Николаевич |9 567774 | |
| 700 | 1 | |a Слюнько, Елена Сергеевна |9 766931 | |
| 700 | 1 | |a Лысенко, Алексей Борисович |9 892825 | |
| 700 | 1 | |a Кальсин, Андрей Юрьевич |9 899214 | |
| 700 | 1 | |a Баалбаки, Хуссейн Алиевич |9 982530 | |
| 700 | 1 | |a Грибенюков, Александр Иванович |9 379319 | |
| 700 | 1 | |a Габдрахманов, Акмаль Шамилович |9 972393 | |
| 700 | 1 | |a Кулеш, Максим Матвеевич |9 766925 | |
| 700 | 1 | |a Антипов, Олег Леонидович |9 283094 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2025 |g Т. 68, № 1. С. 90-99 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153863 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1153863 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1153863 |d 1153863 | ||
| 039 | |b 100 | ||