Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок

Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок

На базе вакуумно-напылительной установки Аспира-200 определены оптимальные параметры ионной очистки для обработки поверхности полупроводниковых материалов на примере монокристалла Ge. Определены характерные размеры кратеров пробоев на полупроводниковой поверхности при недостаточной (0.8-1.8 мкм)...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 1. С. 90-99
Другие авторы:	Кузнецов, Владимир Сергеевич, Зиновьев, Михаил Михайлович, Юдин, Николай Николаевич, Подзывалов, Сергей Николаевич, Слюнько, Елена Сергеевна, Лысенко, Алексей Борисович, Кальсин, Андрей Юрьевич, Баалбаки, Хуссейн Алиевич, Грибенюков, Александр Иванович, Габдрахманов, Акмаль Шамилович, Кулеш, Максим Матвеевич, Антипов, Олег Леонидович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	ионная очистка полупроводниковые материалы системы вакуумного осаждения статьи в журналах
Online-ссылка:	https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001153863 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Ионная хроматография: пер. с англ./
по: Фритц, Д., et al.
Публикация: (1984)

Ионная теория возбуждения
по: Лазарев, Петр Петрович (1878-1942)
Публикация: (1923)

Ионная имплантация алмаза

Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения
по: Савостиков, Виктор Михайлович

Технология тонких пленок: справочник: в 2-х т./
Публикация: (1977)

Технология тонких пленок: справочник: в 2-х т./
Публикация: (1977)

Ионная имплантация
по: Комаров, Фадей Фадеевич
Публикация: (1994)

Ионная бомбардировка в вакууме
по: Акишин, Анатолий Иванович
Публикация: (1963)

Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах
по: Данилина, Тамара Ивановна

Конструктивно-технологические особенности оборудования для реализации технологии формирования поверхностных композиций с использованием высокоэнтропийных материалов с термоупругими мартенситными превращениями
по: Русинов, Петр Олегович

Ионная имплантация в металлы
по: Комаров, Фадей Фадеевич
Публикация: (1990)

Ионная хроматография и ее применение в анализе вод
по: Шпигун, Олег Алексеевич
Публикация: (1990)

Электронная и ионная эмиссия Библиографический указатель
Публикация: (1960)

Гравитационное осаждение высококонцентрированной системы твердых сферических частиц
по: Архипов, Владимир Афанасьевич 1944-

Ионная хроматография
по: Фритц, Джеймс С.
Публикация: (1984)

Гравитационное осаждение совокупности твердых сферических частиц в режиме частично продуваемого облака
по: Архипов, Владимир Афанасьевич 1944-

Методы анализа поверхностей
Публикация: (1979)

Полевая ионная микроскопия интерфейсов в сплаве ЖС36-ВИ
по: Ивченко, Владимир Александрович

Плазменно-иммерсионная ионная обработка изделий со сложно-разветвленной формой поверхности

Электронная и ионная спектроскопия твердых тел
Публикация: (1981)

Фрактальный анализ поверхностей тонких пленок
по: Панин, Алексей Викторович

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Ионная имплантация в узкозонные твердые растворы CdxHg1-xTe
по: Талипов, Нияз Хатимович

Unraveling the low-temperature activity of Rh-CeO2 catalysts in CO oxidation: probing the local structure and Red-Ox transformation of Rh3+ species

Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии/
по: Комаров, Ф. Ф. Фадей Фадеевич, et al.
Публикация: (1990)

Электронно-микроскопическое исследование медных пленок, нанесенных на кремниевые подложки методом низкотемпературного химического осаждения из паровой фазы
по: Шейн, Д. Я.

Ионная имплантация в гетероэпитаксиальные слои и кристаллы p-CdxHg1-xTe
по: Войцеховский, Александр Васильевич

Электронная и ионная оптика: Пер. с англ./
по: Силадьи, М. Миклош
Публикация: (1990)

Очистка поверхностей строительных конструкций перед нанесением антикоррозионных покрытий
Публикация: (1970)

Эволюция мелкодисперсного жидкокапельного аэрозоля в акустическом поле
по: Антонникова, Александра Александровна

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Анализ режимов гравитационного осаждения капли

Формирование одномерных наноструктур диоксида церия
по: Гиль, Д. О.

Ионная имплантация биосовместимых полимеров в установках на основе вакуумного дугового разряда
по: Васенина, Ирина Владимировна

Математическая модель процесса дифферинцированного потенциометрического титрования трех гетеровалентных ионов в смеси по реакциям осаждения
по: Зарубин, Алексей Геннадьевич

Эффект дальнодействия в ионно-имплантированном сплаве Ni3Fe

Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением

Разработка биотехнологий осаждения металлов с использованием глицерина в качестве субстрата роста
по: Курганская, Инна Андреевна

X-ray tomographic method to study the internal structure of a TiNi-TiB2 metal matrix composite obtained by direct laser deposition