Зуза, Д. А., Курзина, И. А., & Батраков, А. В. (2024). Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17. [б. и.].
Chicago Style (17th ed.) CitationЗуза, Даниил Александрович, Ирина Александровна Курзина, and Александр Владимирович Батраков. Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17. Томск: [б. и.], 2024.
MLA (8th ed.) CitationЗуза, Даниил Александрович, et al. Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17. [б. и.], 2024.