Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17

Bibliographic Details
Main Author:	Зуза, Даниил Александрович
Corporate Authors:	Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет
Other Authors:	Курзина, Ирина Александровна (Thesis advisor), Батраков, Александр Владимирович (Thesis advisor)
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Томск [б. и.] 2024
Subjects:	материаловедение диссертации диэлектрические покрытия кремнийорганические полимерные пленки плазмохимическое осаждение из газовой фазы тлеющие разряды разряды в потоке газа газовые среды аргон/гексаметилдисилоксан полимерные покрытия защитные
Online Access:	https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154217 Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	02932nam a2200493 c 4500
001	koha001154217
005	20250331112957.0
006	m fo d
007	cr \|
008	250325s2024 ru a fsbm 000 0 rus d
035			\|a koha001154217
039			\|z 19 \|b 106
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
072		7	\|a 2.6.17 \|2 nsnr
080			\|a 621.793.18:621.315.617.5(043.3)
080			\|a 621.78.062Ar/O[Si(CH3)3]2(043.3)
100	1		\|a Зуза, Даниил Александрович \|9 104515
245	1	0	\|a Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан \|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17 \|c Зуза Даниил Александрович ; науч. рук. Курзина И. А., Батраков А. В. ; Ин-т сильноточной электроники СО РАН ; Нац. исслед. Томский гос. ун-т
260			\|a Томск \|b [б. и.] \|c 2024 \|9 688347
300			\|a 186 л. \|b ил., табл.
336			\|a Текст
337			\|a разные средства доступа
504			\|a Библиогр.: л. 155-181
506			\|a Доступ в сети ТГУ
650		7	\|a материаловедение \|2 nsnr \|9 113980
653			\|a диссертации
653			\|a диэлектрические покрытия кремнийорганические
653			\|a полимерные пленки
653			\|a плазмохимическое осаждение из газовой фазы
653			\|a тлеющие разряды
653			\|a разряды в потоке газа
653			\|a газовые среды аргон/гексаметилдисилоксан
653			\|a полимерные покрытия защитные
655		4	\|a диссертации
700	1		\|a Курзина, Ирина Александровна \|4 ths \|9 66528
700	1		\|a Батраков, Александр Владимирович \|4 ths \|9 188102
710	2		\|a Институт сильноточной электроники (Томск) \|9 55188
710	2		\|a Томский государственный университет. \|9 53646
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856	4		\|u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154217
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1154217
942			\|2 udc
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 2046803 \|7 0 \|9 866653 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2025-03-25 \|g 1700.00 \|l 0 \|o 2-046803 \|p 13820001076719 \|r 2025-03-25 08:43:29 \|w 2025-03-25 \|y 1
999			\|c 1154217 \|d 1154217

Similar Items