Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17 - Зуза, Даниил Александрович ([б. и.], 2024)