Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17
| Главный автор: | Зуза, Даниил Александрович |
|---|---|
| Корпоративные авторы: | Институт сильноточной электроники (Томск), Томский государственный университет |
| Другие авторы: | Курзина, Ирина Александровна (Thesis advisor), Батраков, Александр Владимирович (Thesis advisor) |
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
[б. и.]
2024
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001154217 Перейти в каталог НБ ТГУ |
Похожие документы
-
Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17
по: Зуза, Даниил Александрович
Публикация: (2025) -
Синтез и исследование кремнийорганических покрытий, полученных из плазмы положительного столба тлеющего разряда в потоке аргона
по: Зуза, Даниил Александрович - Распределение массы кремнийорганического покрытия в плазмохимическом реакторе на основе тлеющего разряда в потоке газа
- Formation of ordered polymer patterns from benzene vapors in a barrier discharge
- Characterization of hexamethyldisiloxane plasma polymerization in a DC glow discharge in an argon flow
