Фотодетекторы УФ-излучения на основе пленок Ga2O3 с высоким быстродействием

Представлены результаты исследования фотоэлектрических характеристик структур Pt/Ga2O3 при воздействии ультрафиолетовым (УФ) излучением с длиной волны λ = 254 нм. Рассмотрено влияние температуры отжига в атмосфере воздуха и времени роста пленок Ga2O3 на фоточувствительность и быстродействие фотод...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 68, № 4. С. 35-41
Other Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович, Цымбалов, Александр Вячеславович, Копьев, Виктор Васильевич, Кукенов, Олжас Игоревич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001157728
Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 03503nab a2200385 c 4500
001 koha001157728
005 20250527155552.0
007 cr |
008 250521|2025 ru s c rus d
024 7 |a 10.17223/00213411/68/4/5  |2 doi 
035 |a koha001157728 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Фотодетекторы УФ-излучения на основе пленок Ga2O3 с высоким быстродействием  |c Д. А. Алмаев, А. В. Цымбалов, В. В. Копьев, О. И. Кукенов 
246 1 1 |a UV-photodetectors based on GA2O3 films with high-speed performance 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 20 назв. 
506 |a Ограниченный доступ 
520 3 |a Представлены результаты исследования фотоэлектрических характеристик структур Pt/Ga2O3 при воздействии ультрафиолетовым (УФ) излучением с длиной волны λ = 254 нм. Рассмотрено влияние температуры отжига в атмосфере воздуха и времени роста пленок Ga2O3 на фоточувствительность и быстродействие фотодетекторов на их основе. Пленки Ga2O3 были получены методом ВЧ-магнетронного распыления на сапфировые подложки с базовой ориентацией (0001). Пленки Ga2O3 характеризуются высокой прозрачностью в длинноволновом УФ- (UVA) и видимом (VIS) диапазонах. Максимальные значения токовой монохроматической чувствительности и отношения сигнал/шум характерны при напряжении 100 В и составили 140.6 мА/Вт и 2·105 отн. ед. соответственно. Структуры обладают высоким быстродействием, времена отклика и восстановления составили 7.6 и 2.0 мс соответственно при напряжении 10 В. В работе показана связь между фоточувствительностью и быстродействием фотодетекторов. 
653 |a фотодетекторы 
653 |a УФ-излучение 
653 |a оксид галлия 
653 |a быстродействие 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Алмаев, Дмитрий Александрович  |9 855719 
700 1 |a Цымбалов, Александр Вячеславович  |9 502214 
700 1 |a Копьев, Виктор Васильевич  |9 92396 
700 1 |a Кукенов, Олжас Игоревич  |9 564215 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2025  |g Т. 68, № 4. С. 35-41  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001157728 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1157728 
908 |a статья 
999 |c 1157728  |d 1157728 
039 |b 100