Микроструктурирование тонких пленок

Bibliographic Details
Other Authors:	Орликовский, Александр Александрович 1938- (Editor), Валиев, Камиль Ахметович (Editor)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. Наука 1991
Series:	Труды ФТИАН; АН СССР, Физ.-технол. ин-т т. 20
Subjects:	Микролитография. Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство. тонкие пленки. литография субмикронная физика тонких пленок. распыление тонких пленок анализ тонких пленок масс-спектральный анализ. спектроскопия ионно-фотонная математическое моделирование процессов. кинетика отказов миграционные модели транзисторы полевые арсенидгаллиевые электрические характеристики.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items