Микроструктурирование тонких пленок

Микроструктурирование тонких пленок

Bibliographic Details
Other Authors:	Орликовский, Александр Александрович 1938- (Editor), Валиев, Камиль Ахметович (Editor)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. Наука 1991
Series:	Труды ФТИАН; АН СССР, Физ.-технол. ин-т т. 20
Subjects:	Микролитография. Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство. тонкие пленки. литография субмикронная физика тонких пленок. распыление тонких пленок анализ тонких пленок масс-спектральный анализ. спектроскопия ионно-фотонная математическое моделирование процессов. кинетика отказов миграционные модели транзисторы полевые арсенидгаллиевые электрические характеристики.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин, Евгений Владимирович
Published: (2014)

Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств учебно-методическое пособие : [для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04.04.01, 04.03.01 - Химия, профили подготовки - Химия твердого тела и химия материалов)
Published: (2014)

Получение дисперсных и тонкопленочных материалов на основе оксидов титана, кремния и хрома
by: Рогачева, Анастасия Олеговна

Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
by: Комник, Юрий Федорович
Published: (1979)

Тонкопленочные неорганические наносистемы
by: Борило, Людмила Павловна
Published: (2012)

Свойства пленок ZnO:Al, ZnO:Al-Sio2, полученных золь-гель-методом из пленкообразующих растворов
by: Кузнецова, Светлана Анатольевна химик

Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 монография
Published: (2024)

Влияние внутрикамерной имплантации тонких пленок на основе полимолочной кислоты на структуры переднего отрезка глаза

Химическое состояние и атомная структура поверхности г. ц. к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами
Published: (2003)

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
by: Струнин, Владимир Иванович

Физические основы микротехнологии
by: Броудай, Ивор
Published: (1985)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
by: Югов, Владимир Алексеевич
Published: (1964)

Тонкопленочная технология
by: Берри, Р.
Published: (1972)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
by: Аверин, Игорь Александрович
Published: (2009)

Electrochemical synthesis and characterization of CeO2-Gd2O3 thin films
by: Khalipova, Olga S.

Теоретическое исследование травления поверхности BiTeCl атомарным водородом
by: Швец, Игорь Анатольевич

Электрические и фотоэлектрические свойства структур металл-халькогенидное стекло (Te48 As30 Si12 Ge10) - металл диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Бадлуев, Алексей Ильич
Published: (1981)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Пленочное материаловедение редкоземельных соединений
by: Кутолин, Сергей Алексеевич 1940-
Published: (1981)

Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии [сборник статей : для специалистов в области химии, химического материаловедения, экологии, химической технологии и инновационных разработок в сфере наноматериалов и нанотехнологий
Published: (2008)

Термическая стабильность структуры и оптических свойств наноструктурированных пленок TiO2

Технология СБИС в 2 кн.
Published: (1986)

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование
Published: (2008)

Теория формирования эпитаксиальных наноструктур
by: Дубровский, Владимир Германович
Published: (2009)

Структурные изменения в тонких кальций-фосфатных пленках на титане при термической обработке

Фундаментальные основы анализа нанопленок
by: Альфорд, Терри Л.
Published: (2012)

Электронная структура многокомпонентных тетрадимитоподобных топологических изоляторов диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
by: Силкин, Игорь Вячеславович
Published: (2014)

Полифункциональные тонкопленочные материалы
by: Козик, Владимир Васильевич 1947-2021

Поверхностные свойства тонких пленок из поликапролактона после плазменной модификации
by: Филиппова, Екатерина Олеговна

Многолучевые интерферометры и интерференционные фильтры с тонкими поглощающими слоями диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.05
by: Голдина, Нина Дмитриевна
Published: (1980)

Структурно-фазовые превращения в пленках оксида галлия
by: Лыгденова, Туяна Зоригтоевна

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
by: Сиделев, Д. В.

Нелинейные деформации и катастрофы тонких тел
by: Шкутин, Леонид Иванович
Published: (2014)

Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах
by: Костылев, Сергей Александрович
Published: (1990)

Влияние промоторов на газочувствительность тонких полупроводниковых пленок
by: Угрюмов, Р. Б.

Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры
Published: (2016)

Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник докладов : в 2 ч.]
Published: (1975)

Surface science an introduction
Published: (2003)

Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник статей]
Published: (1977)