APA (7th ed.) Citation

Белов, И. А., Шеленшкевич, В. А., & Шуб, Л. И. (1991). Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Политехника.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Белов, Игорь Александрович, Владимир Александрович Шеленшкевич, and Леонид Исакович Шуб. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Ленинград: Политехника, 1991.

MLA (8th ed.) Citation

Белов, Игорь Александрович, et al. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Политехника, 1991.