Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ленинград
Политехника
1991
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Item Description: | Перед вып. дан. 3-й авт.: Шуб Леонид Исаакович |
|---|---|
| Physical Description: | 287,[1] с. ил. 22 см |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.) |
| ISBN: | 5732500014 |