Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ленинград
Политехника
1991
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |