Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом

В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца....

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 101-102
Главный автор:	Дьяченко, Александр Дмитриевич
Другие авторы:	Левашкин, Андрей Геньевич, Башкиров, Александр Иванович
Формат:	Статья в сборнике
Язык:	Russian
Предметы:	полупроводники генераторы микроволнового излучения экспериментальные исследования статьи в сборниках
Online-ссылка:	https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272776 Перейти в каталог НБ ТГУ