Автоматизация измерений удельного сопротивления полупроводниковых материалов неразрушающим СВЧ-методом - Дьяченко, Александр Дмитриевич (Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия)
В данной работе предложен полностью автоматизированный неразрушающий микроволновой метод, обеспечивающий высокую точность и пространственное разрешение при определении распределения удельного сопротивления по площади образца.