Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия
В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды...
| Published in: | Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 195-199 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272804 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды. Калибровочные измерения проводились с использованием образцов с известными значениями удельного сопротивления, в результате чего была получена калибровочная кривая, связывающая амплитуду с удельным сопротивлением. Пригодность установки для определения удельного сопротивления демонстрируется на основе полученной экспериментальной зависимости. Этот метод предлагает ценный подход для неразрушающей характеризации удельного сопротивления эпитаксиальных пленок. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 4 назв. |
| ISBN: | 9785936297311 |