Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия
В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды...
| Published in: | Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия С. 195-199 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272804 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03506naa a2200361 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001272804 | ||
| 005 | 20251218162629.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 251215s2025 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | |a koha001272804 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия |c А. Г. Левашкин, А. А. Шабанова, В. В. Дирко, О. И. Кукенов |
| 246 | 1 | 1 | |a Application of microwave resonator method for measuring specific resistance of epitaxial films of silicon and germanium |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 4 назв. | ||
| 520 | 3 | |a В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды. Калибровочные измерения проводились с использованием образцов с известными значениями удельного сопротивления, в результате чего была получена калибровочная кривая, связывающая амплитуду с удельным сопротивлением. Пригодность установки для определения удельного сопротивления демонстрируется на основе полученной экспериментальной зависимости. Этот метод предлагает ценный подход для неразрушающей характеризации удельного сопротивления эпитаксиальных пленок. | |
| 653 | |a микроволновой резонансный метод | ||
| 653 | |a кремний | ||
| 653 | |a германий | ||
| 653 | |a экспериментальные исследования | ||
| 655 | 4 | |a статьи в сборниках | |
| 700 | 1 | |a Левашкин, Андрей Геньевич |9 95929 | |
| 700 | 1 | |a Шабанова, Анастасия Андреевна |9 1013363 | |
| 700 | 1 | |a Дирко, Владимир Владиславович |9 473120 | |
| 700 | 1 | |a Кукенов, Олжас Игоревич |9 564215 | |
| 773 | 0 | |t Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия |d Томск, 2025 |g С. 195-199 |z 9785936297311 |w koha001268951 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001272804 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1272804 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1272804 |d 1272804 | ||
| 039 | |b 100 | ||