Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия - Левашкин, Андрей Геньевич; Шабанова, Анастасия Андреевна; Дирко, Владимир Владиславович; Кукенов, Олжас Игоревич (Инноватика-2025 : сборник материалов XXI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 28-30 апреля 2025 г., г. Томск, Россия)
В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды. Калибровочные измерения проводились с использованием образцов с известными значениями удельного сопротивления, в результате чего была получена калибровочная кривая, связывающая амплитуду с удельным сопротивлением. Пригодность установки для определения удельного сопротивления демонстрируется на основе полученной экспериментальной зависимости. Этот метод предлагает ценный подход для неразрушающей характеризации удельного сопротивления эпитаксиальных пленок.