Данилин, Б. С., Киреев, В. Ю., & Пролейко, В. М. (1979). Ионное травление микроструктур. Советское радио.
Chicago Style (17th ed.) CitationДанилин, Борис Степанович, Валерий Юрьевич Киреев, and Валентин Михайлович Пролейко. Ионное травление микроструктур. Москва: Советское радио, 1979.
MLA (8th ed.) CitationДанилин, Борис Степанович, et al. Ионное травление микроструктур. Советское радио, 1979.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
