Ионное травление микроструктур
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва
Советское радио
1979
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Объем: | 101, [3] с. ил., табл. 20 см |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.) |