|
|
|
|
| LEADER |
02314nam a2200433 c 4500 |
| 001 |
koha001274295 |
| 005 |
20260212125531.0 |
| 008 |
110127s1979 ru ad||f b||| 000 0 rus d |
| 017 |
|
|
|a 79-82657
|
| 035 |
|
|
|a koha001274295
|
| 039 |
|
|
|z 77
|b 106
|
| 040 |
|
|
|a RuMoRGB
|b rus
|c ELAR
|e rcr
|d RU-ToGU
|
| 041 |
0 |
|
|a rus
|
| 044 |
|
|
|a ru
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77:621.794.4
|
| 084 |
|
|
|a з844.1-060.14,07
|2 rubbk
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилин, Борис Степанович
|9 478676
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ионное травление микроструктур
|c Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев ; редкол.: В. М. Пролейко (отв. ред.) [и др.]
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Советское радио
|c 1979
|9 702649
|
| 300 |
|
|
|a 101, [3] с.
|b ил., табл.
|c 20 см
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a непосредственный
|
| 490 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера. Электроника
|v [№] 21
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)
|
| 650 |
|
7 |
|a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|2 RKP
|9 1014624
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы микроэлектронные
|
| 653 |
|
|
|a травление материалов, классификация процессов
|
| 653 |
|
|
|a ионное распыление
|
| 653 |
|
|
|a ионное травление
|
| 653 |
|
|
|a радиационные дефекты (ионное травление)
|
| 653 |
|
|
|a системы ионного травления
|
| 653 |
|
|
|a ионное травление, технологические параметры
|
| 700 |
1 |
|
|a Киреев, Валерий Юрьевич
|9 441935
|
| 700 |
1 |
|
|a Пролейко, Валентин Михайлович
|d 1933-2010
|4 edt
|9 97488
|
| 830 |
|
0 |
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|9 176394
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1274295
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1373586
|7 0
|9 877773
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2026-01-27
|g 0.30
|l 0
|o 1-373586
|p 13820001087799
|r 2026-01-27 16:17:07
|w 2026-01-27
|y 4
|
| 999 |
|
|
|c 1274295
|d 1274295
|
