Ионное травление микроструктур

Ионное травление микроструктур

Библиографическая информация
Главный автор:	Данилин, Борис Степанович
Другие авторы:	Киреев, Валерий Юрьевич, Пролейко, Валентин Михайлович 1933-2010 (Редактор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва Советское радио 1979
Серии:	Массовая библиотека инженера "Электроника"
Предметы:	Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство интегральные схемы микроэлектронные травление материалов, классификация процессов ионное распыление ионное травление радиационные дефекты (ионное травление) системы ионного травления ионное травление, технологические параметры
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Ионное травление микроструктур: научное издание/
по: Данилин Борис Степанович, et al.
Публикация: (1979)

Background donor concentration in HgCdTe

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
по: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Публикация: (2020)

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Динамика электрических свойств конвертированных при ионной имплантации и ионном травлении n-слоев в р-CdxHg1-xTe

Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Электрофизические и оптические исследования дефектной структуры методом молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdHgTe

Long-term stability of electron concentration in HgCdTe-based p-n junctions fabricated with ion etching

Долговременная стабильность CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Релаксация и долговременная стабильность МЛЭ CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
по: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Публикация: (1983)

Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2/
по: Харламов, М. С. Максим Сергеевич
Публикация: (2022)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Релаксация электрофизических параметров n-слоев в МЛЭ эпитаксиальных пленках p-CdxHg1-xTe сформированных ионной имплантацией и ионным травлением

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Долговременная стабильность p-n переходов в МЛЭ гетероструктурах CdxHg1-xTe, сформированных ионным травлением

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Травление на металлообрабатывающих заводах
по: Мастерков, Тимофей Андреевич
Публикация: (1942)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Анатомический атлас растений-углеобразователей палеозоя
по: Кизильштейн, Леонид Яковлевич
Публикация: (1999)

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2015)

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2011)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение: Пер. с англ./
по: Сангвал, К. Кешра
Публикация: (1990)

Электронно-ионное оборудование технологического назначения: /
по: Носков, Д. А. Дмитрий Александрович
Публикация: (1973)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Травление кристаллов Теория. Эксперимент. Применение
по: Сангвал, Кешра
Публикация: (1990)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2020)

Травление металлов учебное пособие для подготовки рабочих на пр-ве
по: Ямпольский, Анатолий Михайлович
Публикация: (1980)

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
по: Битнер, Л. Р.
Публикация: (2010)

Ионное легирование полупроводников/
по: Зорин, Е. И. Евгений Иванович, et al.
Публикация: (1975)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Публикация: (1982)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
по: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Публикация: (2001)

Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
по: Гудымович, Елена Никифоровна

Effect of irradiation with continuous 28 MeV He2+ ion beam and short-pulsed 200 keV C+ ion beam on optical properties of multilayer Al-Si-N coatings