LEADER 02247nam a2200397 4500
001 vtls000141759
003 RU-ToGU
005 20210921224924.0
008 950720s1983 ru a | b 001 0 rus d
035 |a 0145-63560 
035 |a (RU-ToGU)ru83-036024 
039 9 |a 200604112218  |y 200511071258  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RKP  |b rus  |c RU-ToGU  |d RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.382.049.77.002(075.8) 
080 |a 621.382.049.77.001(075.8) 
084 |a 32.844.1я73  |2 rubbk 
100 1 |a Березин, Андрей Сергеевич.  |9 199417 
245 1 0 |a Технология и конструирование интегральных микросхем  |b [Учебное пособие для втузов]  |c А. С. Березин, О. Р. Мочалкина; Под ред. И. П. Степаненко 
260 |a М.  |b Радио и связь  |c 1983  |9 701939 
300 |a 231, [1] с.  |b ил.  |c 22 см 
504 |a Библиогр.: с. 227 
504 |a Предм. указ.: с. 228-229 
650 7 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия.  |2 rurkp  |9 199418 
653 |a интегральные микросхемы. 
653 |a кремний. 
653 |a фотолитография. 
653 |a биполярные транзисторы. 
700 1 |a Мочалкина, Ольга Романовна.  |9 199420 
700 1 |a Степаненко, Игорь Павлович.  |e редактор  |4 edt  |9 170386 
852 4 |a RU-ToGU  |h 621.3  |i Б484  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=144119 
908 |a учебник 
999 |c 144119  |d 144119 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Б484  |7 0  |9 278482  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10023  |d 2021-04-03  |g 0.80  |l 0  |o 62 Б484  |p 13820000369872  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 5 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1514171  |7 0  |9 278483  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 0.80  |l 0  |o 1-514171  |p 13820000423433  |r 2021-04-03  |t 2  |w 2021-04-03  |y 4 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1499985К  |7 0  |9 278484  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 0.80  |l 0  |o 1-499985к  |p 13820000555646  |r 2021-04-03  |w 2021-04-03  |y 1