Advanced methods for deposition of thin films Monitoring, properties, application
| Другие авторы: | , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Tomsk
s. e.
2002
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Объем: | 157 p.,[2] fig. |
|---|---|
| Библиография: | Bibliogr.: p.157 |