Низкотемпературная технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AIN" Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.06

Bibliographic Details
Main Author: Костромин, Сергей Викторович
Format: Book
Language:Russian
Published: СПб. 1997
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items