Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.14.12; 01.04.08
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 19 с. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с.18-19 |