Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)

Bibliographic Details
Other Authors: Буренков, Александр Федорович, Комаров, Фадей Фадеевич, Кумахов, Мурадин Абубекирович, Темкин, Михаил Матвеевич
Format: Book
Language:Russian
Published: Минск Изд-во БГУ 1980
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01674nam a2200277 4500
001 vtls000156374
003 RU-ToGU
005 20240529171552.0
008 950720s1980 __ 00| | rus d
035 |a 0160-50760 
035 |a (RU-RKP)ru80-065099 
039 9 |a 200704051204  |b 100  |y 200511072025  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-RKP  |b rus  |c RU-RKP  |d RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 537.311.322:537.572(083.5) 
245 1 0 |a Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей  |b (Теория, метод расчета, таблицы)  |c [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин] 
260 |a Минск  |b Изд-во БГУ  |c 1980  |9 707134 
300 |a 350 с.  |b ил.  |c 17 см. 
500 |a Авт. указаны на обороте тит. л. 
650 7 |a Полупроводники - Легирование ионное - Расчетное таблицы.  |2 RU-rurkp  |9 240258 
700 1 |a Буренков, Александр Федорович.  |9 60728 
700 1 |a Комаров, Фадей Фадеевич  |9 150087 
700 1 |a Кумахов, Мурадин Абубекирович.  |9 186116 
700 1 |a Темкин, Михаил Матвеевич.  |9 186117 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158347 
999 |c 158347  |d 158347 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1430991  |7 0  |9 301396  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 2.70  |l 0  |o 1-430991  |p 13820000399210  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 4