|
|
|
|
LEADER |
01674nam a2200277 4500 |
001 |
vtls000156374 |
003 |
RU-ToGU |
005 |
20240529171552.0 |
008 |
950720s1980 __ 00| | rus d |
035 |
|
|
|a 0160-50760
|
035 |
|
|
|a (RU-RKP)ru80-065099
|
039 |
|
9 |
|a 200704051204
|b 100
|y 200511072025
|z Александр Эльверович Гилязов
|
040 |
|
|
|a RU-RKP
|b rus
|c RU-RKP
|d RU-ToGU
|e PSBO
|
080 |
|
|
|a 537.311.322:537.572(083.5)
|
245 |
1 |
0 |
|a Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей
|b (Теория, метод расчета, таблицы)
|c [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]
|
260 |
|
|
|a Минск
|b Изд-во БГУ
|c 1980
|9 707134
|
300 |
|
|
|a 350 с.
|b ил.
|c 17 см.
|
500 |
|
|
|a Авт. указаны на обороте тит. л.
|
650 |
|
7 |
|a Полупроводники - Легирование ионное - Расчетное таблицы.
|2 RU-rurkp
|9 240258
|
700 |
1 |
|
|a Буренков, Александр Федорович.
|9 60728
|
700 |
1 |
|
|a Комаров, Фадей Фадеевич
|9 150087
|
700 |
1 |
|
|a Кумахов, Мурадин Абубекирович.
|9 186116
|
700 |
1 |
|
|a Темкин, Михаил Матвеевич.
|9 186117
|
856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158347
|
999 |
|
|
|c 158347
|d 158347
|
952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1430991
|7 0
|9 301396
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-03
|g 2.70
|l 0
|o 1-430991
|p 13820000399210
|r 2021-04-03
|t 1
|w 2021-04-03
|y 4
|