Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)

Bibliographic Details
Other Authors: Буренков, Александр Федорович, Комаров, Фадей Фадеевич, Кумахов, Мурадин Абубекирович, Темкин, Михаил Матвеевич
Format: Book
Language:Russian
Published: Минск Изд-во БГУ 1980
Subjects:
Полупроводники - Легирование ионное - Расчетное таблицы.
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items