Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов
| Other Authors: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Высшая школа
1991
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 333,[1] с. ил. 21 см |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 332 (12 назв.) |
| ISBN: | 5060007316 |