Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов

Bibliographic Details
Other Authors: Сазонов, Александр Афанасьевич
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва Высшая школа 1991
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01832nam a2200301 4500
001 vtls000156930
003 RU-ToGU
005 20230523040523.0
008 950417s1991 __ 00| | rus d
020 |a 5060007316 
035 |a 0161-07160 
035 |a (RU-RKP)ru91-038253 
039 9 |y 200511072036  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-RKP  |b rus  |c RU-RKP  |d RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.382.049.77.002:658.012.011.56(075.8) 
084 |a 47.13  |2 rugasnti 
084 |a 32.844-06  |2 rubbk 
245 1 0 |a Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники  |b [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов  |c А. А. Сазонов и др. ]; Под ред. А. А. Сазонова 
260 |a Москва  |b Высшая школа  |c 1991  |9 687423 
300 |a 333,[1] с.  |b ил.  |c 21 см 
504 |a Библиогр.: с. 332 (12 назв.) 
650 7 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация.  |2 RU-rurkp  |9 240843 
650 7 |a Автоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.  |2 RU-rurkp  |9 240844 
700 1 |a Сазонов, Александр Афанасьевич.  |9 240845 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158911 
999 |c 158911  |d 158911 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1775170  |7 0  |9 302206  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 1.60  |l 0  |o 1-775170  |p 13820000399843  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 4 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1775169  |7 0  |9 302207  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 1.60  |l 0  |o 1-775169  |p 13820000399842  |r 2021-04-03  |t 2  |w 2021-04-03  |y 4