|
|
|
|
LEADER |
01832nam a2200301 4500 |
001 |
vtls000156930 |
003 |
RU-ToGU |
005 |
20230523040523.0 |
008 |
950417s1991 __ 00| | rus d |
020 |
|
|
|a 5060007316
|
035 |
|
|
|a 0161-07160
|
035 |
|
|
|a (RU-RKP)ru91-038253
|
039 |
|
9 |
|y 200511072036
|z Александр Эльверович Гилязов
|
040 |
|
|
|a RU-RKP
|b rus
|c RU-RKP
|d RU-ToGU
|e PSBO
|
080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002:658.012.011.56(075.8)
|
084 |
|
|
|a 47.13
|2 rugasnti
|
084 |
|
|
|a 32.844-06
|2 rubbk
|
245 |
1 |
0 |
|a Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
|b [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов
|c А. А. Сазонов и др. ]; Под ред. А. А. Сазонова
|
260 |
|
|
|a Москва
|b Высшая школа
|c 1991
|9 687423
|
300 |
|
|
|a 333,[1] с.
|b ил.
|c 21 см
|
504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 332 (12 назв.)
|
650 |
|
7 |
|a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация.
|2 RU-rurkp
|9 240843
|
650 |
|
7 |
|a Автоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
|2 RU-rurkp
|9 240844
|
700 |
1 |
|
|a Сазонов, Александр Афанасьевич.
|9 240845
|
856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=158911
|
999 |
|
|
|c 158911
|d 158911
|
952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1775170
|7 0
|9 302206
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-03
|g 1.60
|l 0
|o 1-775170
|p 13820000399843
|r 2021-04-03
|t 1
|w 2021-04-03
|y 4
|
952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1775169
|7 0
|9 302207
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-03
|g 1.60
|l 0
|o 1-775169
|p 13820000399842
|r 2021-04-03
|t 2
|w 2021-04-03
|y 4
|