Развитие физико-технологических основ метода пиролитического синтеза с применением донорно-акцепторных комплексов для эпитаксиального наращивания широкозонных нитридов на сапфире автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.06

Bibliographic Details
Main Author: Смирнов, Владимир Витальевич
Format: Book
Language:Russian
Published: М. [б. и.] 2005
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01760nam a2200241 4500
001 vtls000202385
003 RU-ToGU
005 20210922012131.0
008 091029s2005 ru a f bm 000 0 rus d
035 |a 0207-52260 
039 9 |a 200910290147  |c 200601031922  |d VLOAD  |y 200511082007  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
100 1 |a Смирнов, Владимир Витальевич.  |9 284731 
245 1 0 |a Развитие физико-технологических основ метода пиролитического синтеза с применением донорно-акцепторных комплексов для эпитаксиального наращивания широкозонных нитридов на сапфире  |b автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.06 
260 |a М.  |b [б. и.]  |c 2005  |9 701967 
300 |a 48 с.  |b ил. 
504 |a Библиогр.: с. 44-48 
650 0 7 |a Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.  |2 БВАК2004N3  |9 82084 
653 |a авторефераты диссертаций. 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-672163к  |i 66  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=205931 
999 |c 205931  |d 205931 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 СПЕЦФОНД_1672163К_66  |7 0  |9 381663  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10028  |d 2021-04-03  |g 30.00  |l 0  |o Спецфонд 1-672163к 66  |p 13820000483714  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 1