Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01

Bibliographic Details
Main Author: Любимский, Владимир Михайлович
Format: Book
Language:Russian
Published: Новосибирск [б. и.] 2005
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01648nam a2200241 4500
001 vtls000204650
003 RU-ToGU
005 20210922012820.0
008 091029s2005 ru a f bm 000 0 rus d
035 |a 0209-81060 
039 9 |a 200910290156  |c 200601031544  |d VLOAD  |y 200511082114  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
100 1 |a Любимский, Владимир Михайлович.  |9 287214 
245 1 0 |a Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния  |b автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01 
260 |a Новосибирск  |b [б. и.]  |c 2005  |9 687597 
300 |a 37 с.  |b ил. 
504 |a Библиогр.: с. 31-37 
650 0 7 |a Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.  |2 БВАК2004N3  |9 129311 
653 |a авторефераты диссертаций. 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-925774к  |i 53  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=208639 
999 |c 208639  |d 208639 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1925774К_53  |7 0  |9 387226  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 30.00  |l 0  |o 1-925774к 53  |p 13820000492202  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 1