Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01

Bibliographic Details
Main Author: Любимский, Владимир Михайлович
Format: Book
Language:Russian
Published: Новосибирск [б. и.] 2005
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items